等离子清洗仪

一、仪器设备实物图

二、仪器设备信息

1、仪器设备名称

等离子清洗仪

2、仪器设备型号及厂家

型号：EM-KLEEN

厂家：PIE

3、仪器设备用途

该设备用于产生等离子体，等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。

4、仪器设备当前位置

哈工大科学园 科技创新大厦

5、联系地址、电话

哈工大科学园科技创新大厦 K710 室

0451-86413281（星期一至星期五 8：00-17：00）

6、仪器设备的优点及特点（亮点）

  等离子体传感器可以实时定量测量等离子体强度。