三维纳米检测系统

三维纳米检测系统(LSM部分)

1 分辨率:

1.1平面分辨率达到 0.12 微米。

1.2垂直移动分辨率10纳米，显示分辨率1纳米，比例尺0.8纳米。

2 光源:

2.1 激光部分:采用405nm短波长半导体激光器。

2.2可见光部分:长寿命 LED 光源，使用寿命30000小时

2.3采用双光路共焦系统。

3 观察方式及范围

3.1包含激光观察、可见光观察、激光+DIC观察、可见光+DIC观察。

3.2垂直单次扫描范围(行程)为10mm。

3.3 Z对焦部分行程为76mm。

4获取图像种类:不少于激光二维与三维图像、彩色二维与三维图像、等高线二维与三维图像。

5 载物台:

5.1载物台驱动方式:超声波电动驱动。

5.2载物台控制方式:软件或控制手柄控制载物台XY方向移动

5.3载物台行程范围:X向等于100mm，Y向等于100mm

6 物镜:

6.1提供5X、20X、50X、100X物镜共计4颗。

6.2其中20X、50X、100X均为405纳米激光专用平场复消色差(APO)物镜。数值孔径(NA)分别0.60、0.95、0.95

7 物镜转换器

7.1 6孔电动编码型物镜转换器。

7.2具有自动避让功能。即切换物镜时会向上抬起一定高度保证物镜不会撞到样品。

8放大倍数108倍--17280倍。

9显微镜有硬件处理噪声的能力:软件具有处理多种形貌样品噪声功能。

10测量精度要求;

10.1 XY方向测量准确度达到:测量值的+2%。

10.2 XY方向重复性达到:3on-1=0.02um(100倍物镜)。

10.3 Z方向测量准确度达到:0.2+L/100µm以下:(L=测量长度µm)。

10.4 2方向重复精度到:on-1=0.012µm(100倍物镜)。

11 软件:

11.1功能包括:长度、高度、角度、面积、体积测量。

11.2长距离(100mm)线粗糙度测量、面粗糙度测量，测量精度符合国际标准，取样长度和评定长度可以选择。

11.3具备膜厚测量功能。

11.4自动三维拼图功能。软件具备操作向导功能及宏观地图功能。

12显微镜本身具备防震设计，具有防震功能。

13计算机:服务器主机一套，配置为xeonCPU/8G内存/1T硬盘

/DVD-RW 光驱/24寸高亮度专业液晶显示器。

三维纳米检测系统(SPM部分)

14 SPM部分与LSM部分实现连用，LSM与SPM部分通过同一物镜转盘实现切换。

15 运行模式:具备接触模式:动态模式:相位模式;电流模式；表面电位模式:磁力模式。

16光源:659nm半导体激光器。

17扫描范围

17.1 XY方向为30µmx30µm

17.2 Z方向4.6µm。

18微悬臂

18.1单独配有微悬臂安装系统

18.2盒式微悬臂支架一键安装，更换支架无需光学调整。

18.3动态/相位模式探针高度14µm，前端半径7nm:接触模式探针高度2.9µm，前端半径15nm。

19具备防尘、隔音、防震系统。