半导体测试系统

一、仪器设备实物图

二、仪器设备信息

1、仪器设备名称

半导体测试系统

2、仪器设备型号及厂家

型号：FS-Pro380

厂家：博达微、吉时利

3、仪器设备用途

FS-Pro380半导体参数分析仪，是通用的软硬件平台，用来满足包括实验室测试和生产测试在内的半导体器件的特性测量的需求，包括对半导体器件或电路的IV，脉冲IV和CV等关键参数测试的需求，提供高精度的测量结果及曲线。从制造生产的测试到实验室的器件特性分析，内置的软件提供了交互式的界面，用于参数的特性分析和数据的比较，内置了数百个预定义的测试模板和功能。

该设备用于半导体材料及纳米器件的电学、光学性能表征，可以同步查看电流电压 (I-V)、电容电压 (C-V)和超快速脉冲式 I-V 特性等。

4、仪器设备当前位置

哈工大科学园 科技创新大厦

5、联系地址、电话

哈工大科学园科技创新大厦 K710 室

0451-86413281（星期一至星期五 8：00-17：00）

6、仪器设备的优点及特点（亮点）

1. 一体化测试

FS-Pro™集成直流测试，脉冲测试，瞬态测试，电容测试和低频噪声(1/f 噪声) 测试于单台仪器中，无需换线和重新探针即可完成全部低频参数化表征。

2. 超快速

FS-Pro™引入人工智能驱动测试技术，相比传统半导体参数测试系统其测试速度最高可达10倍，在强大速度提升的同时仍保持测试精度。

3. 模块化架构

FS-Pro™支持模块化架构，在保持紧凑机身的同时又可依照需求扩展，并且支持多通道并行测试，最高可达20路通道，轻松应对高密度生产测试。

4. 操作便捷

内置测量控制软件LabExpress™拥有直观的用户图形界面，同时可以支持多种探针台矩阵开关等设备，可完成晶圆级数据的自动测试任务。